Others QMA에서 electron beam의 generation 과정

2004.06.19 16:04

관리자 조회 수:17857 추천:227

1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
  이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.

너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......

ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
      찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
      좋겠습니다.  어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
      이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
      정말 감사드리겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77156
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20437
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57340
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92908
43 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5210
42 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4246
41 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 4042
40 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3847
39 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3528
38 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3481
37 질문있습니다. [1] 2591
36 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1571
35 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1458
34 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1440
33 플라즈마 관련 교육 [1] 1423
32 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1396
31 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1318
30 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1280
29 Group Delay 문의드립니다. [1] 1156
28 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1154
27 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1148
26 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1047
25 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 981
24 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969

Boards


XE Login