Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77156 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20434 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57340 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92908 |
102 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 51 |
101 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 121 |
100 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 335 |
99 | Microwave & RF Plasma [1] | 154 |
98 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 145 |
97 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 146 |
96 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 328 |
95 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 530 |
94 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 329 |
» | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1148 |
92 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1423 |
91 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1279 |
90 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 496 |
89 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3481 |
88 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 733 |
87 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1154 |
86 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 470 |
85 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 981 |
84 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3847 |