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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식]
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마]
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 1935 |
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유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동]
[2] | 2100 |
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[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias]
[3] | 24882 |
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glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압
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플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절]
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No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율]
| 23305 |
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ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]
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ccp-icp
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3 |
F/S (Faraday Shield)
 | 21810 |
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2 |
플라즈마의 발생과 ICP
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ICP 플라즈마에 관해서
[2] | 32513 |
