Others [질문] Plasma density 측정 방법
2011.09.04 20:32
안녕하세요.
큐에스아이라는 회사의 coating field를 담당하는 우병화 사원이라고 합니다.
한가지더 의문점이 있어서 문의 드립니다.
현재 장비로는 ECR sputter, RF sputter 를 보유 하고 있습니다.
현재 저의 장비의 plasma density를 알고 싶은데 계측장비를 구입하기는 너무 액수가 큽니다.
간단히 자사에서 쉽게 계측할 수 있는 방법이 있는지에 대해서 여쭤보고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77068 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20384 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57294 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68840 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92842 |
23 | 활성이온 측정 방법 [1] | 575 |
22 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1037 |
21 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1978 |
20 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1866 |
19 | 자료 요청드립니다. [1] | 6211 |
» | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22706 |
17 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22640 |
16 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20585 |
15 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20266 |
14 | 플라즈마 측정기 [1] | 21339 |
13 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19053 |
12 | PSM을 이용한 Radical측정 방법 | 17085 |
11 | 대기압플라즈마 진단 | 21026 |
10 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18738 |
9 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14733 |
8 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19696 |
7 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16076 |
6 | RGA에 대해서 | 10552 |
5 | RF compensate probe | 18455 |
4 | Langmuir probe tip 재료 | 20414 |