OES OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다.
2023.03.21 10:57
안녕하세요!
플라즈마를 좋아하고 공부하고 있는 디스플레이 엔지니어입니다!
OES를 스펙트럼 분석을 통해서 공정 개선을 해보고 싶습니다.
그이전에, OES를 통해서 공정중 막질 Uniformity를 개선한 사례가 있는지 궁금합니다.
혹시 조언을 얻을 수 있을까요??
감사합니다!!!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77310 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20506 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57415 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68958 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92990 |
23 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2356 |
22 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2926 |
21 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3351 |
20 | 자료 요청드립니다. [1] | 6214 |
19 | RGA에 대해서 | 10562 |
18 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14736 |
17 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16087 |
16 |
PSM을 이용한 Radical측정 방법
![]() | 17097 |
15 | RF compensate probe | 18462 |
14 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18749 |
13 |
AMS진단에 대하여 궁금합니다
![]() | 19057 |
12 | QMA에 관하여 [1] | 19442 |
11 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19700 |
10 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20273 |
9 | Langmuir probe tip 재료 | 20420 |
8 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20616 |
7 |
IEDF EQP에 대한 답변
![]() | 20813 |
6 | 대기압플라즈마 진단 | 21029 |
5 | 플라즈마 측정기 [1] | 21349 |
4 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22651 |