OES ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
2016.01.22 17:30
안녕하세요,
ICP (13.56MHz,) 에 Argon을 넣고 방전을 하며 spectrum을 찍고 CR model 시뮬레이션과 함께 line-ratio 방법을 이용해 내부의 전자 밀도를 구하려고 합니다. chamber 내부 압력은 300mTorr에서 800mTorr 사이에서 변화시켰습니다.
작성한 CR model은 pure argon을 가정한 rate balance equation을 토대로 작성됐습니다.
그러나 실제 스펙트럼을 찍어보니 777nm의 산소 스펙트럼이 꽤나 크게 찍히며 일부 peak에서 simulation으로 계산된 intensity와 실제 intensity의 값의 차이가 생기는 것을 볼 수 있었습니다. (실제로 chamber 내부의 air의 비율이 약 14퍼센트 이상 존재합니다.)
이런 스펙트럼이 나오는데 대한 이유는 chamber에서 기체가 새어나가고 있기 때문이라고 생각하여 chamber를 다시 조사하고자 했습니다만
이 문제에 관한 논의 중 Argon의 peak intensity 는 다른 기체가 있어도 별 변화가 없을 것 같다는 의견을 들었습니다.
제 생각에는 argon과 타 기체가 섞였을 때는 quenching에 의한 argon의 de-excitation을 무시할 수 없을 것 같은데, 이렇게 되면 intensity 역시 영향을 받지 않는지요?
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76978 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20332 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57254 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68801 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92795 |
23 | 활성이온 측정 방법 [1] | 575 |
22 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1029 |
21 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1977 |
» | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1864 |
19 | 자료 요청드립니다. [1] | 6211 |
18 | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22703 |
17 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22633 |
16 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20584 |
15 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20264 |
14 | 플라즈마 측정기 [1] | 21338 |
13 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19052 |
12 | PSM을 이용한 Radical측정 방법 | 17084 |
11 | 대기압플라즈마 진단 | 21026 |
10 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18736 |
9 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14733 |
8 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19694 |
7 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16074 |
6 | RGA에 대해서 | 10552 |
5 | RF compensate probe | 18453 |
4 | Langmuir probe tip 재료 | 20413 |