정전탐침, LP 등을 사용할 때 공간 분포는 위치를 변화시켜 가면서 측정을 할 수 있습니다. 이를 통해서 3차원 공간의 분포를 측정할 수 있겠고, 밀도 분포의 경우 satureation ion 혹은 electron current를 scan 하도록 구성하면 보다 수월하게 공간 분포 맵을 얻을 수가 있겠지요. 하지만 먼저 한 점의 자료를 해석하는 연습이 필요합니다. Magnetron plasma 의 경우 이온 전류에 집중하면 좋을 것이고, 다만 자기장이 분포를 하고 있으니 이 기준으로 탐침의 위치와 팁의 면 방향 등을 설정하는 점은 잊지 않아야 합니다. 또한 전체 플라즈마 분포를 예상해 보려면 광학적, 사진으로 부터 밝기 분포를 그려서 확인해 보는 방법도 추천합니다. 근사적인 플라즈마 분포를 볼 수 있습니다.

헌데 왜  magnetron plasma는 균일할 수가 없을까요? 먼저 이해하고 진단을 하는 것이 좋습니다.