OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]

2021.07.16 18:01

삼성취뽀 조회 수:944

현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 98640
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23917
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60586
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72477
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103332
43 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 772
42 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 896
41 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1084
40 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1194
39 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 895
38 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1954
» CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 944
36 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] 3567
35 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] 2375
34 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 2034
33 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1649
32 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2573
31 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1805
30 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1657
29 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1279
28 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1627
27 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 27871
26 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1306
25 VI sensor를 활용한 진단 방법 [Monitoring과 target] [2] 3327
24 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1508
쓰기
태그

Boards

XE Login