OES OES Actinometry 측정 방법
2026.01.05 18:58
안녕하세요.
OES Actinometry 방법을 통해서 챔버에서 반응성 기체를 정량적으로 분석하고 싶습니다만,
논문 및 여러사이트를 검색해도 궁금증이 해소되질 않아 계시판에 글을 올립니다.
① 우선 챔버에 공정조건을 진행하면서 OES 데이터 취득
② 공정가스와 식각물질에 대한 화학종별 파장 분리
③ Nobel gas (Ar, Xe) OES 데이터 취득
④ Intensity X / Intensity Ar = 비율로 Intensity a.u
특허에 적혀진대로 Actinometry 방법으로 진행해보니
OES 데이터에 취득된 Intensity 보다 낮아 데이터의 신뢰성에 의심이 되는데,
다른 전문가 분들은 어떤 방법으로 OES Actinometry 진행하시는지 문의드립니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] | 111361 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 27813 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 65078 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 76880 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 111135 |
| » | OES Actinometry 측정 방법 | 41 |
| 14 | OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] | 348 |
| 13 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] | 989 |
| 12 | OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] | 1097 |
| 11 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] | 1377 |
| 10 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] | 1557 |
| 9 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] | 1093 |
| 8 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] | 2265 |
| 7 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] | 1109 |
| 6 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] | 3719 |
| 5 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] | 2293 |
| 4 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] | 28826 |
| 3 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] | 2307 |
| 2 | 자료 요청드립니다. [1] | 6637 |
| 1 | RGA에 대해서 | 10832 |