ESC ESC Cooling gas 관련

2019.02.21 19:22

jake88 조회 수:3575

Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다

비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77093
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20398
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57308
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68850
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92862
» ESC Cooling gas 관련 [1] 3575
63 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1346
62 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 646
61 Si Wafer Broken [2] 2556
60 MATCHER 발열 문제 [3] 1443
59 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2352
58 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4377
57 고진공 만드는방법. [1] 1018
56 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1470
55 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2253
54 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1882
53 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1478
52 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
51 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5945
50 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8633
49 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2526
48 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7298
47 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1923
46 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8748
45 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1962
쓰기
태그

Boards

XE Login