ESC ESC Cooling gas 관련
2019.02.21 19:22
Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다
비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?
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질소 화합물이 만들어 질 수가 있으니, 삼가하시는 것이 좋을 것 같고, 최근 추세는 ESC 온도를 정밀하게 제어하는 방법에 대해서 관심들이 많이 있어 보이니 참고하시기 바랍니다.