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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1709 |
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2592 |
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Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 551 |
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알고싶습니다
[1] | 1471 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2836 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1611 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3250 |
76 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3971 |
75 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3721 |
74 |
matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 10468 |
73 |
매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 849 |
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임피던스 매칭회로
[1] | 2827 |
71 |
대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1173 |
70 |
chamber impedance
[1] | 2018 |
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5106 |
68 |
Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6295 |
67 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3213 |
66 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3567 |
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 2358 |
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ESC Cooling gas 관련
[1] | 3563 |