Matcher matching box에 관한 질문
2010.05.05 13:54
안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77151 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20433 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57337 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92905 |
25 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 861 |
24 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 858 |
23 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 840 |
22 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 815 |
21 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 746 |
20 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 664 |
19 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 646 |
18 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 642 |
17 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 604 |
16 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 593 |
15 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 560 |
14 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 553 |
13 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 539 |
12 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 441 |
11 | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 419 |
10 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 377 |
9 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 371 |
8 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 362 |
7 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 357 |
6 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 100 |