Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.

2011.01.03 12:29

한영일 조회 수:47949 추천:72

이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.

Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다

tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.

솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여

맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만

이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77093
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20399
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57308
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68850
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92862
124 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 44
123 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 48
122 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 68
121 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 87
120 플라즈마 설비에 대한 질문 92
119 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 345
118 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 354
117 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 368
116 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 376
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 414
114 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 437
113 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 534
112 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 553
111 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 558
110 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 592
109 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 599
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 640
107 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 646
106 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 743

Boards


XE Login