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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[280]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
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연면거리에 대해 궁금합니다.
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1717 |
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2596 |
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Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 553 |
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알고싶습니다
[1] | 1478 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2851 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1617 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3297 |
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3995 |
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Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3735 |
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matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 10525 |
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 858 |
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임피던스 매칭회로
[1] | 2839 |
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대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1177 |
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chamber impedance
[1] | 2023 |
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5118 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6307 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3232 |
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3598 |
