Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:1077

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20292
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57209
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68761
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 832
102 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 835
101 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 849
100 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 853
99 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 895
98 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 969
97 고진공 만드는방법. [1] 1015
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1018
» Plasma Arching [1] 1077
94 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1130
93 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1173
92 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1284
91 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1298
90 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1341
89 MATCHER 발열 문제 [3] 1439
88 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1445
87 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1468
86 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1469
85 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1469
84 알고싶습니다 [1] 1471

Boards


XE Login