ESC [질문] 석영 parts로인한 특성 이상
2011.09.04 20:31
안녕하세요.
큐에스아이라는 회사의 coating field를 담당하는 우병화 사원이라고 합니다.
현재 자사 ECR sputter에서 석영 parts 를 세정하여 재사용하고 있습니다.
그런데 세정 후에 장착하면 원하는 target(al2o3)의 반사율과 굴절율의 특성 이상이 보이는 현상이 있습니다.
세정 잘못으로 인한 반사울 굴절율 값이 상이해는지 경우가 있는지 문의 드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77061 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20379 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57291 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68837 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92838 |
| 44 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8632 |
| 43 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8747 |
| 42 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9893 |
| 41 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10031 |
| 40 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10516 |
| 39 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12813 |
| 38 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13209 |
| 37 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14880 |
| 36 | Virtual Matchng | 16856 |
| 35 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
 | 16965 |
| 34 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17354 |
| 33 | electrode gap | 17963 |
| 32 | Faraday shielding & Screening effect | 18364 |
| 31 | 최적의 펌프는? | 18548 |
| 30 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19224 |
| 29 | MFC | 19335 |
| 28 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19355 |
| » | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19846 |
| 26 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 20046 |
| 25 | 플라즈마 matching | 20275 |