안녕하세요 디스플레이 근무 중인 사람입니다

 

질문

1.Chamber 환경 변화시 VPP 값의 변화

EX) 주기성 Parts 절연체 감소로 인한 Chamber 변동 시

2. 압력과 VPP의 상관관계

 

이 두가지 질문을 드립니다

제가 많이 부족하여 이렇게 쉬운것도

짊질문을 한점 양해부탁드립니다ㅜㅜ

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77028
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20352
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57274
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68819
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92819
» Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 902
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 836
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1021
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1565
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 3003
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1287
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1542
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2117
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14874
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1472
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1449
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1902
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2371
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2387
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3664
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1136
88 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2466
87 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 591
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 971
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5605

Boards


XE Login