Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:1101

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77301
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20498
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57414
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68946
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
127 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 48024
126 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41311
125 Ground에 대하여 39536
124 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 35996
123 matching box에 관한 질문 [1] 29716
122 Arcing [1] 28681
121 esc란? 28125
120 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27682
119 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27249
118 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26516
117 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26278
116 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25600
115 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24925
114 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24796
113 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24790
112 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24664
111 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23351
110 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22960
109 Peak RF Voltage의 의미 22645
108 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22587

Boards


XE Login