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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[280]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다.
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124 |
HE LEAK 과 접촉저항사이 관계
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123 |
스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다!
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플라즈마 설비에 대한 질문
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121 |
내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
[1] | 69 |
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120 |
Edge ring의 역할 및 원리 질문
[1] | 362 |
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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PECVD설비 Matcher 아킹 질문
[2] | 604 |
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CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의
[2] | 441 |
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116 |
RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계
[2] | 816 |
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115 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1]  | 419 |
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114 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문
[1] | 539 |
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반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 371 |
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112 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
[1] | 357 |
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chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
[1] | 377 |
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110 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1] | 867 |
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정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
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Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
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107 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성
[1] | 643 |
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Plasma Arching
[1] | 1089 |
