Shower head rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.

2017.11.07 08:40

남윤빈 조회 수:1481

안녕하세요 직장에서 플라즈마를 사용하는 일반 사원입니다.

챔버내에서 Shower Head와 기판사이에서 기판과 가까운(솟아나온부분) 곳에서 생기는 박막형에 비해 기판과 먼(옆 테두리들어간 부분)곳에 생기는 부산물들이 기존의 박막층보다 엉성하고 입자가 큰 경우 기존의 받아들이던 플라즈마 값에서 변화가 일어나는데 이러한 점을 줄일 수 있는 방법이나 이론을 알고싶어 글 남깁니다. 또한 실제로 이 부산물들이 플라즈마에 어떤 영향을 미치는지 알고싶습니다.semiconductor shower head에 대한 이미지 검색결과

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77314
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20508
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57416
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68965
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92991
» rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1481
86 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1488
85 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1489
84 알고싶습니다 [1] 1496
83 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1586
82 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1618
81 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1626
80 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1733
79 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1887
78 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1933
77 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1954
76 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1970
75 chamber impedance [1] 2034
74 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2188
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2282
72 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2391
71 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2405
70 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2414
69 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2458
68 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2482
쓰기
태그

Boards

XE Login