Matcher matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
2020.01.11 04:30
안녕하세요 반도체 회사에 다니고있는 구성원입니다.
에칭장비를 담당하는데, 챔버 pm후 RF가 세팅값까지 안올라오는 경우
오토매칭을 사용하지 않고, 매쳐의 LOAD,TUNE값을 조절해서 RF POWER를 원하는 값으로 맞추는데요
원리를 모르고 하다보니, 시간이 오래걸리고, 조절하다보면 FORWARD값은 맞춰지지만 REFLECT값도 함께 올라가서
애를먹는 경우가 있습니다
매쳐에서 LOAD, TUNE의 역할은 무엇인가요??? 또한 원하는 FORWARD/REFLECT값을 얻기위해 LOAD/TUNE 조절을 쉽게 할 수 있는 방법이 있을까요?
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77156 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20437 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57340 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92908 |
| 105 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 746 |
| 104 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 816 |
| 103 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 840 |
| 102 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 858 |
| 101 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 861 |
| 100 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1]  | 867 |
| 99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 904 |
| 98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 973 |
| 97 | 고진공 만드는방법. [1] | 1019 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1023 |
| 95 | Plasma Arching [1] | 1089 |
| 94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1141 |
| 93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1177 |
| 92 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1291 |
| 91 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1343 |
| 90 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1346 |
| 89 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1444 |
| 88 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1457 |
| 87 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1471 |
| 86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1477 |