Matcher RF 반사파와 이물과의 관계
2021.02.25 14:33
안녕하십니까 교수님
디스플레이 업체에서 현재 CVD설비 공정분석을 담당하고 있는 이재학입니다.
Chamber별로 RF Reflect의 수준이 상이하며, 검사기에 검출되는 불량수와 양의 관계로 확인되고 있습니다.
1. RF Reflect 발생으로 인해 내부 이물이 과생성되는 건지
2. 내부 이물로 의해 RF Reflect가 점점 커지는지 의문입니다.
1의 경우 Load/Tune을 통해 내부 이물을 제어하는 평가를 진행하려하고
2의 경우 Parts 교체와 재질변경을 통해 RF Reflect를 낮추는 방향으로 진행하려합니다.
교수님의 견해로는 어느방향에 유의차가 있을지 문의드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77139 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20425 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68873 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92897 |
| 105 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 743 |
| 104 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 813 |
| 103 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 839 |
| 102 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 858 |
| 101 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 860 |
| 100 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1]  | 865 |
| 99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 902 |
| 98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 973 |
| 97 | 고진공 만드는방법. [1] | 1018 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1023 |
| 95 | Plasma Arching [1] | 1089 |
| » | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1138 |
| 93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1177 |
| 92 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1291 |
| 91 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1340 |
| 90 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1346 |
| 89 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1444 |
| 88 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1454 |
| 87 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1471 |
| 86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1476 |