안녕하세요

Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102122
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24548
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61205
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73278
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105501
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화] [1] 2716
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 6498
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [플라즈마 주파수와 Vpp, sheath] [1] 4352
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1445
88 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2892
» Interlock 화면.mag overtemp의 의미 715
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1224
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [ESC, 쉬스 전기장 및 bias 전력 조절] [1] 6196
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1149
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건] [1] 2031
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스] [1] file 2870
81 Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰] [1] 743
80 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1817
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [웨이퍼 근방 쉬스 특성, Edge ring] [2] 3183
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1885
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [Plasma impedance와 Matcher] [2] 5410
76 Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor] [3] 4744
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [Self bias와 DC offset] [1] 4203
74 matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance] [1] 12440
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1098

Boards


XE Login