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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ
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ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
[1] | 9892 |
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Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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81 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 8626 |
80 |
정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7660 |
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 7293 |
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ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 7122 |
77 |
플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6500 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6302 |
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5941 |
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5603 |
72 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5115 |
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ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3986 |
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Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3732 |
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플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3664 |
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3586 |
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ESC Cooling gas 관련
[1] | 3572 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3276 |