안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [327] 98060
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23838
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60515
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72380
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103007
132 PEALD 챔버 세정법 [1] 61
131 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 153
130 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 237
129 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 616
128 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 497
127 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 582
126 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 672
125 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산] [1] 565
124 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 562
123 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 208
122 플라즈마 설비에 대한 질문 267
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 307
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1254
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 162
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1074
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 767
116 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1468
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 625
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 807
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 588

Boards


XE Login