Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.

2021.07.05 14:38

카마 조회 수:1657

안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.

한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.

 

Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.

 -> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.

RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서 

나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.

그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102113
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24548
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61203
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73275
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105493
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 766
111 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 540
110 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1487
109 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1076
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 711
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 924
106 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1394
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1841
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1298
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 1010
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1360
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2054
100 RF matcher와 particle 관계 [DC glow 방전, 플라즈마 임피던스] [2] 3998
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1615
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1926
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절] [1] 2892
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15722
» RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1657
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1755
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2712
쓰기
태그

Boards

XE Login