Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.

2021.07.05 14:38

카마 조회 수:1481

안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.

한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.

 

Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.

 -> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.

RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서 

나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.

그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77240
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
» RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1481
85 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1486
84 알고싶습니다 [1] 1488
83 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1573
82 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1599
81 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1625
80 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1726
79 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1883
78 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1927
77 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1933
76 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1967
75 chamber impedance [1] 2030
74 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2159
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2272
72 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2370
71 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2391
70 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2395
69 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2436
68 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2478
67 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2535
쓰기
태그

Boards

XE Login