Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77121 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20415 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57326 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68864 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92886 |
| 124 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 48 |
| 123 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 55 |
| 122 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 69 |
| 121 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
| 120 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 96 |
| 119 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 348 |
| 118 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 355 |
| 117 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 370 |
| 116 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 376 |
| 115 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1]  | 414 |
| 114 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 439 |
| 113 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 535 |
| 112 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 553 |
| » | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 559 |
| 110 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 592 |
| 109 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 601 |
| 108 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 642 |
| 107 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 646 |
| 106 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 664 |
| 105 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 743 |