Shower head PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
2023.07.10 13:26
안녕하세요
항상 많은 도움 감사합니다.
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
CCP TYPE CVD 공정의 경시성 현상에 관한 질문입니다.
일반적으로 경시성은 Shower Head 의 불균일한 Oxidation에 의해서 발생을 하게 되는데
Oxidation이 심하게 되는 부위에서 Oxide 막이 두껍게 형성되어,
Shower Head에서의 열이 방사율이 높아짐에 따라 산화가 많이 된 쪽이 Heat Loss가 더 커질 것으로 판단되는데요
일반적으로 Oxidation의 경우 Center 대비 Edge 쪽에서 많이 이뤄져서 Edge 쪽 방사율에 의해 Edge 막의 Temp가 더 낮을 것으로 예상했으나
실제 현상으로는 Center 쪽 막의 Temp가 더 낮은 현상이 일어납니다.
이론적인 부분과 실제 현상이 매칭이 잘 안되어서 혹시 원인이 무엇일지 궁금해서 의견 어떠신지 질문드립니다.
(Edge 영역으로 열전달이 많이 될 수 있는 매커니즘이 있는지 궁금합니다)
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76888 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20285 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92713 |
123 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 12 |
122 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 64 |
121 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 75 |
120 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 81 |
119 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 298 |
» | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 347 |
117 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 359 |
116 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 369 |
115 | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 407 |
114 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 426 |
113 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 517 |
112 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 551 |
111 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 557 |
110 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 586 |
109 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 589 |
108 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 632 |
107 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 645 |
106 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
105 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 726 |
104 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 791 |
전극 표면의 온도 분포에 대해서는 시뮬레이션 결과들이 있을 것으로 예상됩니다.
일단 표면 온도 분포에 영향을 미치는 인자는 공간 상에 형성된 플라즈마 분포가 될 것 같습니다.
따라서 본 게시판에서 플라즈마 분포, 또는 플라즈마 확산의 주제어로 검색을 권장합니다.
제 생각에는 플라즈마 분포로 부터 생각을 정리해 가시면 좋을 것 같습니다.