Matcher CURRENT PATH로 인한 아킹

2023.08.22 11:19

생렬 조회 수:418

안녕하세요.교수님

 

이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)

볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..

 

답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77151
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20430
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
125 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] 23
124 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 62
123 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 49
122 플라즈마 설비에 대한 질문 99
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 69
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 358
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 88
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 604
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 441
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 815
» CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 418
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 539
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 371
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 357
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 377
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 865
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 744
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 560
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 642
106 Plasma Arching [1] 1089

Boards


XE Login