Chamber component Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator]

2024.06.24 10:47

플라즈마plasma 조회 수:582

안녕하세요 한양대학교에서 연구중인 연구원입니다.

 

ALD 공정 진행중 plasma를 방전시키는 순간 갑자기 펌프가 꺼지면서 장비상에 Forward와 Reflect가 계속해서 잔여한다고 나오는 상태입니다.

 

Matcher와 연결된 수관의 온도가 일시적으로 높아져서 matcher에 이상이 생겨서 그럴 수 있을까요?

 

수관의 온도를 낮춘뒤에도 계속해서 Forward와 Reflect가 걸리고 있고 이 때문인지 펌프가 계속 켜지지 않고 있습니다.

 

사진과 같은 상황입니다.

 

감사합니다.

 

계속해서 잘 되다가 갑자기 이런 문제가 발생했고 공정 조건을 변경한 것은 없었습니다.

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