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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산]
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chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
[1] | 506 |
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
[1]  | 1416 |
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경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
[1] | 1029 |
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108 |
Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
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107 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating]
[1] | 893 |
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106 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1370 |
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105 |
반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]
[1] | 1783 |
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104 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
[1] | 1234 |
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1307 |
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101 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2001 |
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RF matcher와 particle 관계 [DC glow 방전, 플라즈마 임피던스]
[2] | 3884 |
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1567 |
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항]
[2] | 1881 |
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절]
[1] | 2809 |
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ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 15620 |
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
| 1720 |
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매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산]
[1] | 2577 |
