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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화]
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성]
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플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [플라즈마 주파수와 Vpp, sheath]
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RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
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Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching]
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기]
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [ESC, 쉬스 전기장 및 bias 전력 조절]
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연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어]
[1] | 1110 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건]
[1] | 1987 |
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스]
[1]  | 2830 |
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Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰]
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알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터]
[1] | 1789 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [웨이퍼 근방 쉬스 특성, Edge ring]
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending]
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [Plasma impedance와 Matcher]
[2] | 4623 |
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Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor]
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Vpp, Vdc 측정관련 문의 [Self bias와 DC offset]
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matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance]
[1] | 12173 |
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
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