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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[279]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7662 |
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ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 7125 |
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6502 |
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ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
[1] | 9900 |
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플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ
[1] | 10036 |
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ICP 플라즈마 매칭 문의
[2] | 21210 |
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ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의
[1] | 24775 |
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[질문] 석영 parts로인한 특성 이상
[1] | 19846 |
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HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
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안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
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안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
[1] | 47954 |
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스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
| 25590 |
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Reflrectance power가 너무 큽니다.
[1] | 24905 |
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29 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
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플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[2] | 27227 |
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반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
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석영이 사용되는 이유?
[1] | 20049 |
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전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1] | 21123 |
