|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[327]
| 97992 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 23832 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 60505 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 72366 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 102959 |
|
52 |
analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
[1] | 2509 |
|
51 |
안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe]
[3] | 6407 |
|
50 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정]
[4] | 9446 |
|
49 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간]
[2] | 2825 |
|
48 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG]
[2] | 7916 |
|
47 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
[1] | 2210 |
|
46 |
Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
| 13746 |
|
45 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2121 |
|
44 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
 | 17205 |
|
43 |
RF calibration에 대해 질문드립니다.
| 6127 |
|
42 |
정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상]
[1] | 7999 |
|
41 |
ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성]
[1] | 7518 |
|
40 |
플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매커니즘 문의.. [플라즈마 leak와 국부방전]
[1] | 6730 |
|
39 |
ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생]
[1] | 10345 |
|
38 |
플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입]
[1] | 10270 |
|
37 |
ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown]
[2] | 21452 |
|
36 |
ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [ICP Matching과 Circuit model]
[1] | 25147 |
|
35 |
[질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법]
[1] | 19994 |
|
34 |
HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
| 23461 |
|
33 |
안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
| 23064 |
