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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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electrode gap
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Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링]
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반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하]
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플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자]
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CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할]
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esc란?
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Virtual Matching [Impedance matching]
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6 |
Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion]
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5 |
최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free]
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4 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle]
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3 |
Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias]
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2 |
MFC [Direct liquid injection]
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1 |
플라즈마 matching [Heating mechanism, matching]
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