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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[330]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
[2]  | 333 |
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HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다.
[2] | 405 |
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 1156 |
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RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1601 |
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CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1] | 672 |
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반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 636 |
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37 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1396 |
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36 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1361 |
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34 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2063 |
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1621 |
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32 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산]
[1] | 2750 |
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성]
[1] | 6511 |
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RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1450 |
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Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching]
[1] | 2900 |
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor]
[3] | 4758 |
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matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance]
[1] | 12486 |
