Matcher RF 파워서플라이 매칭 문제

2022.07.21 23:00

김현기 조회 수:1022

안녕하세요? 현재 연구실에서 반응성 스퍼터링으로 TiO2 박막을 실험하고 있습니다.

연구실에서 사용하는 RF스퍼터 장비에는 오토매처가 있어 파워 인가 시 자동으로 임피던스 매칭을 수행합니다.

매처는 일반적인 장비로써 Load/Tune capacitor가 내장되어있습니다.

 

현재 RF 파워의 매칭 시간이 너무 긴 문제가 있습니다.

매칭이야 조건을 찾는 과정이니 시간이 걸릴 수 있겠지만, 매칭 시간만 1시간이 넘게 걸리고, 무엇보다 공정 조건이 같은데도 매칭이 이루어지는데 점점 오래 걸리고 있습니다.

 

반응 가스는 고순도 O2를 사용 중에 있으며, 순도는 용접용이어서 낮지 않습니다.

만일 매칭에 방해가 되는 요인이 있다면 어떤 요인이 있는 지 알고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103261
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24706
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61513
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73516
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105933
44 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 411
43 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 476
42 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 187
41 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1182
40 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1665
39 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 679
38 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 650
37 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1406
» RF 파워서플라이 매칭 문제 1022
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1372
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2094
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1627
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1675
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2831
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 6545
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
28 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2933
27 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 723
26 Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor] [3] 4790
25 matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance] [1] 12645

Boards


XE Login