Deposition 플라즈마 데미지에 관하여..
2012.09.24 18:00
안녕하십니까,
저는 한양대학교 신소재공학과에서 석박 생활을 하고 있는 학생입니다.
다름이 아니오라 제가 진행하고 있는 실험에 대하여 소자 특성저하에 여러가지 변수 중
플라즈마 데미지 라는 부분을 확인해 보기 위하여 검색을 하다가 플라즈마 응용연구실 Q&A 를 이용하게 되었습니다.
저는 TFT를 연구하고 있는데, 궁금한점이 있습니다.
Passivation- Free 상태의 TFT 즉 바텀 게이트를 이용하는 TFT의 채널층이 노출된 상태에서
PECVD 를이용하여 40W 100도 공정을 이용하여 약 1시간 정도SiNx 를 Deposition 할 경우
처음에 열려 있는 채널층에 플라즈마 데미지에 의하여 이온이 차지가 된다거나 기타 다른 차지들이 채널층에
데미지를 줄 수 있을까요../?
궁금한 마음이 급하여 두서없이 작성했습니다.
혹 실례가 되지 않는다면 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77214 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20466 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68901 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
124 | O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 | 1185 |
123 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1200 |
122 | Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] | 1205 |
121 | ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] | 1210 |
120 | Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] | 1261 |
119 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1322 |
118 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1410 |
117 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1428 |
116 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1433 |
115 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1440 |
114 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1450 |
113 | Ar plasma power/time [1] | 1455 |
112 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1525 |
111 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1551 |
110 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1691 |
109 | 터보펌프 에러관련 [1] | 1777 |
108 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1779 |
107 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1835 |
106 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1919 |
105 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1954 |