안녕하십니까?
진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.
고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우
터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.
제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.
터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77113 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20410 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57319 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68860 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92879 |
| 104 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 2036 |
| 103 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1533 |
| » | 터보펌프 에러관련 [1] | 1773 |
| 101 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1425 |
| 100 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2592 |
| 99 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1312 |
| 98 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 475 |
| 97 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1684 |
| 96 | DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] | 2377 |
| 95 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1198 |
| 94 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 856 |
| 93 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 2287 |
| 92 | DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] | 5500 |
| 91 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1445 |
| 90 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2362 |
| 89 | Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] | 2354 |
| 88 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 4332 |
| 87 | PR wafer seasoning [1] | 2707 |
| 86 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1825 |
| 85 | ICP 후 변색 질문 | 739 |
터보는 저압에서 운용되는 진공펌프입니다. 블레이드가 가스 입자를 충돌시켜서 입자를 챔버로 부터 빼내고, 블레이는 수만 RPM으로 고속회전합니다. 따라서 대기압에 노출이 된다면 당연히 모든 블레이드가 부러지게 되고, 축이 휘면서 정지하게 됩니다. 일부 압력이 높은 경우에는 축이 휘는 경우가 있어 에러의 원인이 될 수 있습니다. 수리가 필요해 보입니다.