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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 1142 |
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[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
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O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1] | 904 |
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Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 2314 |
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Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
[1] | 1397 |
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
[1] | 1100 |
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Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1259 |
117 |
질문있습니다 교수님
[1] | 22206 |
116 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1763 |
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안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다.
[1] | 6759 |
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ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3686 |
113 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 3036 |
112 |
전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련
[1] | 550 |
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압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 2007 |
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PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3364 |
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ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1202 |
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HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
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PEALD관련 질문
[1] | 32653 |
106 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
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