Etch center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2

2023.09.14 07:59

초코우유 조회 수:422

상세한 답변 정말 감사합니다!! 추가 질문이 있습니다. 
1. 현업에서 스크레치와 같은 defect들은 대부분 edge에서 일어난다고 알고있습니다. 그렇다면 etch 공정 기술 엔지니어로서, edge의 수율을 높이는 방법에는 무엇이 있을까요? 

저는 이 방법을 center to edge 균일도 제어로 생각해서 위와 같은 질문을 드렸는데, 여기서는 추가 부품을 사용하는 방법을 써야하므로 공정 레시피 측면에서 제어할 요소가 적다고 말씀하셔서 추가 질문 드립니다! 

2. 양산 수율 달성 측면에서, 높은 aspect ratio로 인한 문제가 핵심인 것이 맞나요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77113
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20410
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57321
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68861
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92881
164 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 411
163 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 414
» center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 422
161 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 427
160 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 475
159 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 503
158 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 550
157 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 561
156 PECVD Uniformity [1] 573
155 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 593
154 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 613
153 RF Sputtering Target Issue [2] file 624
152 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 627
151 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 635
150 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
149 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 660
148 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 681
147 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 696
146 Polymer Temp Etch [1] 696
145 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 713
쓰기
태그

Boards

XE Login