|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
| 109310 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 26961 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 64085 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 75844 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 109747 |
|
114 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [Etch와 IEDF]
[2] | 4333 |
|
113 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [Flow rate와 moral ratio, resident time]
[1] | 3857 |
|
112 |
전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소]
[1] | 827 |
|
111 |
압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time]
[1] | 2690 |
|
110 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간]
[1] | 4454 |
|
109 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속]
[1] | 1575 |
|
108 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 3275 |
|
107 |
PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정]
[1] | 33119 |
|
106 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
[3] | 1417 |
|
105 |
기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
[2] | 1062 |
|
104 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지]
[1] | 2657 |
|
103 |
PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착]
[1] | 2349 |
|
102 |
터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력]
[1] | 2110 |
|
101 |
부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극]
[1] | 1861 |
|
100 |
산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응]
[1] | 2850 |
|
99 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
[4] | 1667 |
|
98 |
magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화]
[3] | 779 |
|
97 |
Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어]
[1] | 2202 |
|
96 |
DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect]
[1] | 2993 |
|
95 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자]
[1] | 1541 |
