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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다..
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RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도
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교육 기관 문의
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스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화]
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PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage]
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플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅]
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wafer 전하 소거: 경험 있습니다.
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DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위]
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DC SPT 문의 [절연체의 전위]
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sputter
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Arcing [아크의 종류와 발생 원인]
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Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker]
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plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch]
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ICP 식각에 대하여… [Electronegative plasma]
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박막 형성 [ICP와 MOCVD]
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플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진]
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플라즈마 처리 [표면처리와 Plasma Chemistry]
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플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential]
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스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple]
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sputtering
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