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						[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내					
					
						[336]
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						Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법					
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						개인정보 노출 주의 부탁드립니다.					
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						kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수					
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						질문하실 때 실명을 사용하여주세요.					
					
						[3]
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										37				 | 																																																								
					HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant]
					[1]														 | 																																																																																548 | 																							
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					FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석
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										35				 | 																																																								
					PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
					[1]														 | 																																																																																1359 | 																							
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										34				 | 																																																								
					Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막]
					[1]														 | 																																																																																505 | 																							
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										33				 | 																																																								
					PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙]
					[1]														 | 																																																																																894 | 																							
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										32				 | 																																																								
					O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
																			 | 																																																																																1035 | 																							
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					PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD]
					[1]														 | 																																																																																2806 | 																							
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					SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [세정 시간 및 식각 효율]
					[1]														 | 																																																																																4617 | 																							
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										29				 | 																																																								
					엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석]
					[1]														 | 																																																																																1626 | 																							
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					질문있습니다 교수님 [Deposition]
					[1]														 | 																																																																																22747 | 																							
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					CVD품질과 RF Delibery power 관계 질문 [RF power와 plasma information]
					[1]														 | 																																																																																2379 | 																							
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					PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간]
					[1]														 | 																																																																																4419 | 																							
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					PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정]
					[1]														 | 																																																																																33088 | 																							
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					기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
					[2]														 | 																																																																																1037 | 																							
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					PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착]
					[1]														 | 																																																																																2267 | 																							
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					[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
					[4]														 | 																																																																																1642 | 																							
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										21				 | 																																																								
					magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화]
					[3]														 | 																																																																																758 | 																							
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					Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어]
					[1]														 | 																																																																																2171 | 																							
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										19				 | 																																																								
					Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘]
					[1]														 | 																																																																																1797 | 																							
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					플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy]
					[1]														 | 																																																																																2964 |