Deposition PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해
2004.06.19 16:43
안녕하십니까? 저는 대전에 필텍광학이라는 코팅전문회사에 근무하는 이 은석이라고 합니다. 저희는 진공증착(PVD)를 주사업으로 하고 있지만 장래에는 CVD를, 또는 플라즈마를 이용한 코팅을 하려고 노력 중입니다. 제가 궁금한 것은 PMMA 또는 PC(폴리카보네이트)의 금속산화물 증착이 가능하도록 플라즈마 표면개질로 가능한 방법이 있는가? 궁급합니다. 저희는 자체 제작한 플라즈마 장비로 실험을 하고 있는데 기본구조를 소개드리면,
13.56MHz
0 - 1500 watt
3가지 gas를 동시 주입이 가능하고
2종류의 액상 모노머를 혼입할 수 있도록 만들었습니다.
reactor는 대략 1000 x 800 x 650 mm 정도로 판형 전극이 장치되어 있습니다.
산소, 질소, 알콘, 이산화탄소 등의 플라즈마 처리와
실란류들의 플라즈마중합도 해보았는데 부착성에서 시료부착성이 문제가 됩고 있습니다.
강의록 내용중에 암모니아를 이용한 PMMA 표면개질에 대해 간단히 소개되었던데 조금 자세한 설명 좀 부탁드리겠습니다.
또한 이와유사한 경험이 있으신 분의 도움을 받고 싶습니다.
그럼 안녕히 계세요!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77156 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20437 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57340 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92910 |
36 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 197 |
35 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 244 |
34 | PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] | 420 |
33 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 475 |
32 | PECVD Uniformity [1] | 580 |
31 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 738 |
30 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 747 |
29 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1134 |
28 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1316 |
27 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1446 |
26 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1539 |
25 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1686 |
24 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1770 |
23 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1908 |
22 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1943 |
21 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2369 |
20 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2929 |
19 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3371 |
18 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 4177 |
17 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 4342 |