Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77156 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20437 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57340 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92909 |
36 | PEALD관련 질문 [1] | 32655 |
35 | RF에 대하여... | 32089 |
34 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31696 |
33 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29790 |
32 | 질문있습니다 교수님 [1] | 22212 |
31 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22103 |
30 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21633 |
29 | DC SPT 문의 | 19688 |
28 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19502 |
27 | 증착에 대하여... | 18109 |
26 | 교육 기관 문의 | 17783 |
25 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15653 |
24 | 박막 형성 | 15301 |
23 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8632 |
» | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8071 |
21 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6502 |
20 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 4342 |
19 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 4177 |
18 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3371 |
17 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2929 |