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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71133
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98365
37 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 321
36 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 357
35 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 916
34 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 356
33 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 602
32 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 844
31 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2362
30 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [세정 시간 및 식각 효율] [1] 4378
29 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1420
28 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22585
27 CVD품질과 RF Delibery power 관계 질문 [RF power와 plasma information] [1] 2078
26 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간] [1] 3836
25 PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] 32885
24 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 906
23 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 1906
22 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1496
21 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 614
20 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 1930
19 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1649
18 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2700

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