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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72366
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 102962
17 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4881
16 RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization] [1] 2191
15 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 8968
14 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3188
13 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8329
12 플라즈마 데미지에 관하여.. [Charge의 축적과 damage] [1] 6712
11 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31884
10 RF에 대하여... 32526
9 교육 기관 문의 17834
8 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 21956
7 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 30052
6 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22196
5 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19766
4 박막 형성 [ICP와 MOCVD] 15365
3 증착에 대하여... 18188
2 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15829
1 플라즈마를 이용한 박막처리 19664

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