Sputtering sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
2017.10.02 14:13
안녕하세요.
해외에서 박사과정을 하고 있는 학생입니다.
RF스퍼터로 reactive sputtering을 통해 유전층을 증착하는 실험을 하는데요.
저희연구실에서는 스퍼터링 가스로 Ar/Kr를 사용하고 있습니다.
학부때는 Kr이 Ar보다 질량이 커서 sputtering yield가 증가한다 정도로만 배웠는데, ion bombardment energy 가 작기 때문에 플라즈마 데미지가 줄고, 더 좋은 막질이 형성된다고 하더라구요.
논문을 조금 찾아봤는데 스퍼터링 가스에 대한 연구는 오래전에 진행되었는지 최근논문들을 찾아보기 힘들더라구요.
그냥 단순히 생각했을 때 질량이 크면 충돌하는 에너지도 크고, 데미지가 더 셀 것 같은데 Kr 등의 가스가 Ar보다 플라즈마 데미지가 적은 원리에 대해 설명을 부탁드려도 될까요?
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [292] | 77358 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20517 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57432 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68976 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93001 |
23 | sputtering 을 이용한 film depostion [1] | 190 |
22 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 93 |
21 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 293 |
20 | RF Sputtering Target Issue [2] | 646 |
19 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1447 |
» | sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] | 2364 |
17 | Ar plasma power/time [1] | 1460 |
16 | DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] | 3882 |
15 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10345 |
14 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15824 |
13 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 31187 |
12 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20226 |
11 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20929 |
10 | 몇가지 질문있습니다 | 16585 |
9 | 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. | 24922 |
8 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19723 |
7 | sputter | 16859 |
6 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18059 |
5 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 | 17808 |
4 | sputtering | 18314 |